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半导体微纳制作中心高校、企业、政府融合创新平台一、项目背景： 平台组织架构： 包含光刻、刻蚀、薄膜、测试、封装、失效分析等功能模块，及厂务系统维护和安全管理机制。 建设产教融合...
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